以前我国大部分硅片都是靠进口。如今，宁波保税区一家企业的成果已打破这种僵局。本月上旬，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项实施管理办公室在宁波组织召开了02专项正式验收会。位于宁波保税区的浙江金瑞泓科技股份有限公司牵头承担的“8英寸硅片研发与产业化及12英寸硅片关键技术研究”项目，顺利通过了验收。

    据金瑞泓公司的副总经理吴能云介绍，大尺寸硅片的生产对纯净度和平整度的要求非常高，硅片的生产要通过拉晶、切割、研磨、抛光、外延等几十道工序，尤其在纯净度和平整度上有特殊的技术要求。所以大尺寸硅片的生产不光需要攻克科技难关，还需要严谨的科学精神。

    目前，浙江金瑞泓科技股份有限公司是国内唯一具有硅单晶锭、硅研磨片、硅抛光片、硅外延片完整产业链的半导体企业。

    记 者 王元卓 

    通讯员 王虎羽