江丰电子的智能化生产线

    【编者按】

    近日，2020年度国家科学技术奖揭晓，宁波企事业单位牵头、合作的8个项目获奖，其中，国家科技进步一等奖1项、二等奖3项，国家技术发明二等奖4项。这是科技届的奥斯卡奖。为了探究成绩与创新之间的关系，我们推出“国奖背后的创新力量”系列报道，通过以小见大的方式展现宁波的科创实力和科创活力。

    记者 吴正彬 通讯员 王虎羽

    核心提示

    当前，芯片产业已经成为全球竞争最激烈的领域之一。由于核心技术上的诸多短板，我国的芯片制造水平还与发达国家存在不小差距。不过，在国家政策的大力支持下，一些专注于产业细分赛道的企业正在迅速崛起，宁波江丰电子材料股份有限公司（以下简称“江丰电子”）就是其中之一。

    近日，江丰电子牵头完成的“超高纯铝钛铜钽金属溅射靶材制备技术及应用”项目荣获国家技术发明二等奖，该项目攻克了包括金属材料提纯与制备、晶粒晶向控制、高端焊接、精密机械加工和表面处理等在内的完整的靶材成套技术，实现了超高纯铝、钛、铜、钽等全系列先端靶材的产业化，打破了国外在超高纯金属溅射靶材领域的垄断局面。

    从“±10微米”到“±3微米”

    一个个亮闪闪的金属“饼”，这是记者对超高纯金属溅射靶材的第一印象。在江丰电子的展厅里，这样的金属“饼”摆放了好几排，有铝材、钛材、铜材、钽材等材料……

    “芯片的基体是硅片，我们的靶材就是用来给硅片镀膜，膜最终形成芯片里连接二极管的纳米级金属导线。”江丰电子制造中心技术厂长，高级工程师袁海军向记者讲解道，将金属溅射靶材放进特定设备，经过氩离子轰击后，靶材上的金属原子就会分离出来，然后它们会像下雪一样，铺在下面的硅片上，这就是镀膜的过程。

    靶材晶粒尺寸及均匀性直接关系到镀膜的均匀性。“低芯片制程下，我们控制在±10微米就可以了，但随着芯片制程的提升，这个控制范围就变成了±5微米，甚至是±3微米。做到这一点是非常不容易的。”袁海军说。

    “我们现在生产的超高纯金属溅射靶材，已经能充分满足国内的市场需求。不仅如此，我们还把产品出口到了国外。目前，公司70%以上的产品都用于出口。”袁海军这样告诉记者。