本报讯(记者黄剑跃 余姚记者站谢敏军)昨天上午,在杭州举行的2015年全省科学技术奖励大会上,以江丰电子董事长姚力军为第一完成人的超大规模集成电路制造用溅射靶材关键技术研究及产业化,在全省670余项成果中脱颖而出,获得浙江省技术发明一等奖。这个项目同时也是江丰电子承担国家“863”计划、国家02科技重大专项的科技成果。 2005年,拥有哈尔滨工业大学和日本广岛大学双博士学位的姚力军辞去世界500强企业高管职位,在余姚创立中国第一个集成电路制造用超高纯金属及溅射靶材生产基地———江丰电子,向国际跨国公司的垄断地位发起挑战。经过10年的发展,江丰电子成为继美国、日本企业之后首家掌握超高纯金属及溅射靶材关键技术并产业化的中国企业。 近几年,江丰电子积极拓展产业链建设,开展超高纯金属材料的研究与产业化。2014年成功研发低氧超高纯钛,结束中国需要依赖进口超高纯钛才能生产溅射靶材的历史。2016年,江丰电子准备投产超高纯铝和铜。一条从原材料制备到集成电路制造用溅射靶材的完整产业链正越来越成熟。
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