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2017年05月16日 星期二  
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勇担“国家使命” 打破国际垄断

甬企自主研发大尺寸硅片

    本报讯(记者金晶 通讯员 王虎羽)小到手机、平板电脑,大到汽车、无人工厂都需要芯片来控制运行,而芯片的载体——硅片就成为其中最关键的材料。日前,市科技局传来喜讯:经过7年研发,由浙江金瑞泓科技股份有限公司牵头承担的“200mm硅片研发与产业化及300mm硅片关键技术研究”项目顺利通过验收,这意味着“大尺寸硅片绝大部分只能依赖进口”的局面即将被打破。目前,该项目共申请发明专利54项,授权35项,填补了国内相关领域的空白。

    2006年,《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020)》确定了大型飞机等16个重大专项,这些重大专项是我国到2020年科技发展的重中之重。“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”属于专项中的第二项,所以简称为“02专项”。

    作为我国内地唯一的具有硅单晶锭、硅研磨片、硅抛光片、硅外延片完整产业链的民营半导体企业,金瑞泓在2009年率先实现了我国8英寸硅片正片供应零的突破,并于2010年成为国家科技重大专项(02专项)的牵头单位,获得中央财政7423万元的资金支持。目前公司年产能达到800万片,可以生产5000多种规格的硅片,是ONSemi、Fairchild等国际知名公司的供应商。

    “国内每个月8英寸硅片需求量近70万片,而国产硅片不足10万片,由于硅片供应受限,我国每年高端集成电路的进口额已经超过了石油,这对航空航天、军工等涉及国家安全的领域造成了不小的影响。”谈到研发该项目初衷时,浙江金瑞泓科技股份有限公司副总经理吴能云这样表示。

    勇担“国家使命”的背后是金瑞泓高科技与匠心精神的完美融合。“硅片尺寸越大,制作工艺要求就越高,比如8英寸的硅片在显微镜下放大数千倍,不能有一个灰尘颗粒,一条生产线就需要投入10亿元。”吴能云介绍,8英寸硅片的制造工艺流程要求高,产品的附加值也很高,一片8英寸的外延片售价达60美元。据悉,金瑞泓的8英寸硅片占据了国产硅片64%的市场份额,并参与了4项行业标准的制定。

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宁波日报