本报讯(记者张正伟)汽车玻璃膜、显示器件膜、半导体膜……在我们的生活中,膜无处不在。膜要致密、均匀地镀到物体上,需要高性能的靶材,但目前国内生产溅射靶材的核心技术和主要材料依赖进口。记者近日了解到,宁波森利电子材料有限公司研发的磁控溅射靶材,三年内销售有望超过1亿元。 磁控溅射镀膜是一种新型的镀膜方式,通过把电子发射并聚焦在被镀材料上,使被溅射出来的原子脱离材料飞向基片积淀成膜。这种被镀的材料叫作溅射靶材,它的质量直接影响到膜的好坏。全球溅射靶材产业市场份额近500亿元,“森利”与中科院宁波材料所宋伟杰团队合作,实现了该项技术在国内的产业化。 “森利”组建于2014年,2017年产品销售呈“井喷式”增长。据公司副总经理杨晔博士介绍,今年一季度,公司实现销售额400余万元,超过去年全年。据了解,“森利”致力于技术与产品的自主研发。“磁控溅射靶材”技术获得了“中国科技创业计划大赛海创新锐奖”。2014年至2016年,公司相继建成氧化锌靶材中试产线、高质量靶材绑定产线,成功研发氧化锌陶瓷旋转靶材并建成热喷涂靶材生产线。去年,公司相关产品成功进入台玻集团,成为其合格供应商。目前,公司产品质量达到甚至高于国外进口产品,受到台玻、福耀、南玻等企业的肯定。 “我们努力争创具有完全自主知识产权的行业领军者。”公司相关负责人说,溅射靶材行业讲究个性化,技术团队将根据客户需求,积极研发、生产适合平板显示、节能镀膜、薄膜光伏、装饰镀膜、半导体器件等领域的关键靶材产品。
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